展商精選丨華易泰，致力于顯示面板、半導(dǎo)體等行業(yè)工藝設(shè)備本土化
2023-07-31 09:09:58
公司簡(jiǎn)介
南京華易泰電子科技有限公司（展位號(hào)：4A09）2020年2月成立于南京市江北新區(qū)智能制造產(chǎn)業(yè)園，致力于顯示面板、半導(dǎo)體、新能源行業(yè)的工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。華易泰的主營(yíng)產(chǎn)品分為AMHS（自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)）、WET（濕制程）設(shè)備、CCSS（中央化學(xué)品供給系統(tǒng)）三大類，堅(jiān)持百分百自主研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造，是一家具備高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)及多項(xiàng)行業(yè)認(rèn)證資格的高精密設(shè)備研發(fā)制造企業(yè)。
推薦產(chǎn)品--AMHS產(chǎn)品系列
Stocker潔凈型堆垛機(jī)
② 自主研發(fā)新型Fork專利技術(shù)，自動(dòng)校對(duì)卡匣位置；
③ BCR+磁柵尺機(jī)械結(jié)構(gòu)，精確確認(rèn)Crane位置信息；
④ Arm采用雙驅(qū)動(dòng)+非動(dòng)力傳動(dòng)方式，空間小、精度高；
⑤ CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長(zhǎng)、靈活度高。
OHT空中走形式無(wú)人搬運(yùn)車
② 物料抓取防晃動(dòng)設(shè)計(jì)，準(zhǔn)確定位并抓取物料，穩(wěn)定性高；
③ CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長(zhǎng)、靈活度高；
④ BCR實(shí)時(shí)確認(rèn)Shuttle位置信息，實(shí)現(xiàn)與CIM的實(shí)時(shí)通信；
⑤ 采用安全觸邊傳感器，緩沖器，鐳射傳感器等防護(hù)措施，調(diào)整穿梭速度，防止碰撞。
推薦產(chǎn)品--WET產(chǎn)品系列
Cleaner清洗機(jī)
② 水平傳送、傾斜傳送、90°轉(zhuǎn)角傳送等多種傳送方式可選；
③ 搭配AP Plasma/EUV，素玻璃接觸角<5°，進(jìn)行有機(jī)物清潔；
④ 廠務(wù)純水直供和設(shè)備循環(huán)供給相結(jié)合，純水用量低、效率高；
⑤ 使用毛刷、二流體噴淋、超聲波清洗等清洗方式，實(shí)現(xiàn)＜3μm的顆粒去除。
Etcher刻蝕機(jī)
② 多角度搖擺噴淋方式，蝕刻均勻性高、藥液利用率高；
③ 搭配EMS藥液分析系統(tǒng)，實(shí)時(shí)在線精準(zhǔn)把控藥液成分；
④ 觸摸屏+PLC控制安全保護(hù)，具有液位保護(hù)、漏液漏電保護(hù)等；
⑤ 穩(wěn)定高速的藥液置換供給系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)不停機(jī)藥液供給的置換，產(chǎn)能高、藥液利用率高。
推薦產(chǎn)品--CCSS產(chǎn)品系列
CDS 化學(xué)品供給系統(tǒng)
② Drum區(qū)域配置HEPA，保證在更換酸桶時(shí)維持正壓；
③ Drum及Tank氮封設(shè)計(jì)，防止空氣接觸至化學(xué)品造成污染；
④ 配置手動(dòng)撥鈕開(kāi)關(guān)，PLC故障時(shí)可手動(dòng)強(qiáng)制供應(yīng)；
⑤ 主部件N+1配置，穩(wěn)定性好、效率高。
SDS研磨液供給系統(tǒng)
② 自備循環(huán)擾流功能，避免研磨液結(jié)晶和沉淀；
③ Drum及Tank氮封設(shè)計(jì)，防止空氣接觸至化學(xué)品造成污染；
④ 配置手動(dòng)撥鈕開(kāi)關(guān)，PLC故障時(shí)可手動(dòng)強(qiáng)制供應(yīng)；
⑤ 主部件N+1配置，穩(wěn)定性好、效率高。
